低温化学气相沉积冷却系统水泵发生故障的话，就需要及时有效的解决，那么一般来说，故障怎么解决好呢？

　　水泵故障原因分析：

　　水泵交流接触器上的过载保护器动作。

　　水泵电容器烧坏(单相)。

　　水泵本身问题，如：线圈烧坏、轴承坏死等。

　　水泵故障的排除方法：

　　轻按过流保护器中RESET复位键即可。

　　更换电容器。

　　更换水泵(更换水泵时应注意水泵的转向)。

　　注意事项：

　　低温化学气相沉积冷却系统和工业低温化学气相沉积冷却系统排除以上故障前都应先检查各电源连接线路是否有断开、破损、短路等，避免在维修时带来不必要的麻烦。

　　当机器出现故障时，应请专业人员进行机器检查维修，严禁在机器处理故障时将机器强行起动。

　　工业低温化学气相沉积冷却系统起动、运转

　　按调度指令打开切换井的进出水闸门，关闭其他各闸门。

　　水泵启动前，应向填料函上的接管，引注清水润滑橡胶轴承，待泵出水后即可关小，有水滴出为宜，检查泵轴承位的油位，确保各处水、油路畅通。

　　水泵启动前检查各连接部位应无松动，用手转动联轴器，看是否灵活，泵内是否有响声。

低温化学气相沉积冷却系统水泵启动时，机旁不得站人，启动后应至少守机五分钟检查设备情况，如有不正常的振动和声音或出水情况有异常应立郧停机检查，不允许投入运行后随即离开机泵。