光刻机水冷机是一种常见的工业冷却设备，光刻机水冷机安装时需要选取合适的安装位置，这样可以减少制冷量损失并且操作更为便利。

　　1、应当尽量减少光刻机水冷机与被控温设备的距离，这样的好处是可以减少冷冻水在管路中的压降和冷量损失，而且机组没有远程控制功能时方便操作设备；

　　2、从散热条件来说，将光刻机水冷机安装有良好的通风环境，可以将机组带出的热量及时排出，另外考虑到为了方便机组操作，将光刻机水冷机的控制和故障反馈部分远程接入是非常有必要的。

　　3、光刻机水冷机的噪音主要来自于压缩机、循环水泵和风机这几个部件，其中风机的噪音是主要的，常规的小型光刻机水冷机的噪音还是比较小的，如果是在有静音要求的地方比如实验室使用，则需要考虑光刻机水冷机组的降噪问题。

　　4、光刻机水冷机组在使用和后期维护中可能需要补充一定量的循环水，所以安装位置应当考虑有自动补水的水源，以及设备检修时可以方便地将循环水排出；如果光刻机水冷机采用的是手动补水的方式，则只需考虑设备的排水问题就可以了。

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