光刻机用冷水机中阀门的安装方法

光刻机用冷水机中阀门的安装方法

　　在光刻机用冷水机中，阀门的主要功能是控制制冷剂的流量和方向。在日常使用中，经常使用阀门。当行业冷水机需要停止或打开时，需要使用阀门。由于其日常使用频率很高，因此在安装过程中应多加注意，以确保其正常使用而不会影响工业的稳定性冷水机。

　　1.阀门应安装在易于拆卸和维护的地方。在安装各种阀门时，请注意制冷剂的流动方向，不要以相反的方向安装它们。

　　2.安装光刻机用冷水机的法兰阀时，须在法兰板和阀法兰上加高压石棉板，并根据阀门上法兰槽的深度确定高压石棉板的厚度。当阀门较大而槽较深时，应使用较厚的石棉板，以免它们之间的凹凸面界面容易留有间隙且密封不紧密。组装法兰阀时，请确保所有螺栓受力均匀，否则，凹凸面容易产生偏斜。

　　3.截止阀的安装应使工作流体从阀的??底部流到上部。在水平管道上安装时，阀杆应垂直向上或倾斜一定角度，并且阀杆不得向下。如果阀门位置难以接近或过高，可以将阀杆水平安装以方便操作。

　　4.在为光刻机用冷水机安装止回阀时，阀芯应能够自动打开。对于提升止回阀，阀芯的线和水平面应相互垂直。对于旋启式止回阀，应确保阀芯板的旋转，并且阀芯板须水平安装。

　　5.靠谱阀应直接安装在设备出口的截止阀上，阀体上的箭头应与工作介质的流向一致。

　　6.电磁阀须水平安装在设备的出口处，并位于定的位置。

7.光刻机用冷水机中的热力膨胀阀也须水平安装。